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低流量，雙向常閉（NC）比例閥，帶有集成的熱補償功能，可在各種介質上保持和可重復的流量。VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣，VSOLowFlow微型比例閥可根據輸入電流提供的氣體流量控制?？梢酝ㄟ^DC電流或脈沖寬度調制以及閉環來控制閥門。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質譜設備制造商。
•實現的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高儀器精度•進行熱補償以保持各種介質的流動用于性能可追溯性的計算機自動校準和序列化•清潔氧氣和分析服務使用經過驗證的性能測試到1000萬個生命周期•符合RoHS標準
PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應用行業如下：•氣相色譜•質譜•壓力和流量控制•質量流量控制
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